先進製造プロセス研究部門 首席研究員 明渡 純 氏は平成26年7月16日に井上春成賞委員会（独立行政法人科学技術振興機構）より第39回井上春成（はるしげ）賞を受賞しました。
井上春成賞は、大学や研究機関等の独創的な研究成果で、企業化した技術（販売実績があるもの）に対して毎年2件授与されます。今回の受賞技術は「常温衝撃固化現象を用いたエアロゾルデポジション技術の実用化」で、企業化開発を実施したTOTOファインセラミックス株式会社の佐伯義光（さえきよしみつ）代表取締役社長と共に受賞しました。
明渡氏はエアロゾルデポジション法の基礎技術を構築し、その後製膜メカニズムの解明、最適な原料粒子特性条件に関する知見を得ました。さらにTOTOファインセラミックス株式会社（以下TOTO）と共同で半導体製造関連装置の構造部材用コーティング技術の開発に取り組み、600mm角の大面積高速成膜装置による量産化技術を確立しました。TOTOでは、2008年よりプラズマ耐食部材を事業化し、現在、新規部材では世界シェア50 %に至っており、半導体デバイスの高集積化に貢献しています。