平成30年度研究関連業務評価委員会評価報告書
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24時間稼働へと移行し、平成30年度から試作開発の稼働が本格化した。さらに、試作期間の短縮と運用効率化を目的として、新たに約5億円相当の成膜プロセス装置を住友電工から無償提供を受けたことで、処理能力が月産で100枚を超すレベルまで向上し、原理実証用途の目的基礎研究レベルのラインから量産基板技術を研究開発するレベルに達するとともに、平成26年度まで量産技術開発を行っていた3インチラインの4倍のSiCデバイスチップを試作可能なラインとなり、量産技術開発を行っている企業のニーズに応えるレベルにまで到達した。 【実績】 TIAの施設や装置の管理運営を推進する共用施設ネットワークマネージメントグループを中心として、TIA中核機関が保有する先端的な装置等を外部機関が有料で利用可能な共用施設等利用制度を、継続的に運用している。この共用施設によって、産業界への橋渡しや新たなシーズ創出がさらに加速している。新たな試みとして、共用施設制度利用者の拡大を目指し、ICとの連携を強化するとともに、中小企業などのユーザーからの多様なニーズへの対応を促進するため、SCRにあったデバイスの製造工程を構築する専門家であるプロセスインテグレータを配置した。 また、つくば共用研究施設データベース(つくば地区のTIA共用施設のデータベース)は、つくばグローバルイノベーション推進機構が管理していたが、つくば地区の連携をより密接にするため、TIAのホームページに移管した。 【効果】 SCRへのプロセスインテグレータの配置や、ICと連携したマーケティング活動により、SCRとNPF等他の産総研共用施設の連携が推進され、ユーザーにとって共用施設の利便性が向上した。その結果、SCRやNPFなど産総研における全7施設の利用契約件数は延べ303件(うち民間企業179件(平成30年12月31日現在))となり、新規利用74法人の獲得につながり、利用契約件数も平成29年度比約10%増加した(平成30年12月31日現在)。今後、中小企業等からの更なる利用増加が見込まれる。また、つくば共用研究施設データベースの検索から、TIAの共用施設の利用につながるなどの効果が見られる。 【実績】 TIA中核5機関の研究者が組織の枠を越えて協働することにより、新たな共同研究等の構築及び発展を促進する事業である「TIA連携プログラム探索推進事業(通称:かけはし)」は、平成29年度の成果を踏まえて第2回TIAかけはし成果報告会を開催した。平成30年度は、新たに企業からの招待講演を実施し、企業からの参加者74名を含む226名が参加した。多くの企業等関係者の参加によって活発な議論がなされたことで、新領域の開拓に向- 145 -

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