平成30年度研究関連業務評価委員会評価報告書
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どの多様なニーズへ応え、さらに積極的に利用方法を提案するため、プロセスインテ グレーターを配置する。イノベーションコーディネーター(IC)と連携して、プロセ スインテグレーターが活動することで、SCRの利用拡大を図る。 ・また、より高度な半導体製造装置等の整備を進め、量産開発に資する6インチ大型ウ ェハーを用いたSiCパワーデバイス試作ラインの稼働率を向上させ、オープンイノベ ーション拠点としての価値を一層高める。 ・さらに、共用施設ステーションでは、TIA中核他機関等との連携を強化し利便性の向 上を図る。また、IC等によるマーケティング機能を付加することにより、共用施設 ネットワークマネージメントグループ等、構成する各マネジメントグループやステー クホルダーグループを活用して、オープンプラットフォーム機能の強化と企業連携活 動を加速する。 ・各機関の多様な技術を融合させ、複数領域での大型研究資金獲得に向けた戦略立案と 体制構築を行うため、TIA連携プログラム探索推進事業「かけはし」を推進する。 TIA中核機関間の連携を促進し新たなシーズ創出を加速するだけでなく、企業発案の 課題も企画し、新しい知の創造と産業界への橋渡しに貢献する。 ・ナノテクキャリアアップアライアンスやTPEC人材育成等、今後のTIAの人材育成機 能の方向性となりうる、民間企業の人材育成に資する機能を強化する。 【実績】 オープンイノベーションを推進して事業化への「橋渡し」を加速させる世界的な産学官連携拠点の形成を目指し、西事業所内の既存クリーンルームに隣接させて、研究開発環境の向上と安全対策強化を行った2,376m2クリーンルームを有する新棟を設計するとともに、その建設事業に着手した。また、半導体技術の潮流であるIoTデバイス技術の研究開発を、戦略的に進めるアクションプランを策定して、SCR、NPF、MEMSラインを利用する既存ユーザーや想定ユーザーに周知した。また、産総研の有する3か所のデバイス開発用設備(スーパークリーンルーム(SCR)、ナノプロセシング施設(NPF)、Micro Electro Mechanical System MEMS研究開発拠点ライン(MEMS))での相互利用を試行的に開始するとともに、外部研究機関がSCRに持ち込んで研究開発を希望するデバイス基板の受け入れ汚染基準の緩和、試作するウェハーに半導体プロセスを実施する手順や施す半導体プロセス自体の標準化を行うことにより、多様なユーザーニーズに対応するための運営の改善を行った。 【効果】 IoTデバイスの研究開発拠点としての新たな研究開発戦略を、SCR、NPF、MEMSラインを利用する既存ユーザーや想定ユーザーに周知していくことで、新たな半導体技術の産学官連携拠点としての認知度が向上し、また海外研究拠点との連携や革新的なアイデアを持つ企業等との連携によるオープンイノベーションが進んでいる。 - 143 -

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