平成29年度評価委員会(計量標準総合センター)評価報告書
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「ミリ波帯平⾯回路精密測定技術の開発」(橋渡し後期)•電気信号解析によるプローブコンタクト位置高精度制御技術により、自動車衝突防止レーダーなどミリ波帯平面回路を高精度に計測する技術を実現する。研究目的99平成29年度成果•プローブコンタクト位置高い再現性を実現し、ミリ波帯における平面回路高精度計測を実現。•作業者やプローブ製品違いによる測定結果へ影響を排除。•高確度を実現する校正手法適用が可能となり、測定結果不確かさが改善開発した手法による測定再現性改善(1桁程度改善)改善周波数(GHz)反射係数測定らつき(リニア値)従来手法(目視)新技術デバイス反射係数< 0.1測定回数:N=7成果リスト論文発表:IF付国際誌2報、特許出願7件、受託・共同研究11件、技術コンサルティング9件技術開発の要点100「ミリ波帯平⾯回路精密測定技術の開発」アウトカム車載用ミリ波レーダー等ミリ波帯機器高性能化に貢献研究開発期間短縮にも寄与し、ミリ波機器社会実装を促進電気信号測定からプローブ接触位置を決定する手法を考案、それを実施可能とする測定装置を開発し、一桁測定精度改善を実現(従来技術4.0 % → 開発した技術0.5% @ 100 GHz)目視で視野角・顕微鏡解像度限界で、位置らつきを生じる電気測定で位置を決定プローブプローブプローブプローブ従来方式(目視)新方式(電気センシング)プローブ測定概要と解析モデル高周波プローブ信号線コンタクト位置により決まるインダクタンス値接地線コンタクト位置により決まるキャパシタンス値PC- 72 -

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