平成29年度評価委員会(計量標準総合センター)評価報告書
74/104

「精密変位計をピコメートル精度で評価可能に」(橋渡し後期)•半導体露光装置や非球面加工機など加工精度向上ため、変位測定高分解能化、高信頼性化が求められている。•10 pm以下精度で変位計非線形性を評価できる持ち運び可能な小型干渉計を開発する。•リニアエンコーダーや静電容量センサーなど精密変位計非線形性を評価する。研究目的95平成29年度成果NMIJレーザーホモダイン干渉計非線形誤差を1 pm以下に抑え、非線形誤差10 pm以下を目指して開発された企業精密変位計性能を評価100 mm55 mmNMIJが開発したレーザーホモダイン干渉計被評価変位計周期誤差が10 pm以下と評価(水素原子よりも小さい)評価系被評価変位計周期誤差NMIJレーザーホモダイン干渉計被評価変位計移動鏡成果リスト論文発表:IF付国際誌2報(うち1報査読中)、国際会議招待講演1件、企業・大学と共同研究(資金提供有)1件技術開発の要点96「精密変位計をピコメートル精度で評価可能に」アウトカム精密変位計信頼性ある性能評価に寄与することにより、それらが使用される半導体露光装置や非球面加工機、走査型プローブ顕微鏡など精密測定・微細加工技術精度を向上させ、半導体素子高集積化などに貢献。2.4 pm 分解能リサージュ図形補正位相接続NMIJレーザーホモダイン干渉計リサージュ図形をデジタル信号処理により補正して周期誤差を最小化。そ振幅変動からNMIJ評価装置周期誤差を自己評価し、1 pm程度であることを確認。NMIJレーザーホモダイン干渉計周期誤差自己評価結果(自身干渉信号振幅から周期誤差を評価)λ/2λ/4λ/8λ/2周期誤差が1 pm 程度であることを確認PZT制御信号(任意波形)NMIJレーザーホモダイン干渉計ブロックダイヤグラム- 70 -

元のページ  ../index.html#74

このブックを見る