平成29年度評価委員会(計量標準総合センター)評価報告書
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「モアレを利⽤した微⼩変位・ひずみ分布計測技術の開発」(橋渡し前期)•完全結晶製が困難な化合物半導体プロセス改善ためモアレを利用した転位分布自動検出技術開発•透過電子顕微鏡像画像処理による転位分布評価自動化研究目的79平成29年度成果•2次元フーリエ変換とサンプリングモアレ法を組み合わせ、結晶構不完全部を自動検出する技術を開発•Gaパワエレデバイス転位分布を評価GaNパワー半導体透過電子顕微鏡像モアレ解析から検出された転位分布従来、目視観察で行ってきた転位分布検出を2次元フーリエ変換とサンプリングモアレ法を組み合わせることで、広視野で自動検出できる技術を確立(世界初)成果リストIF付国際誌1報、特許出願1件、プレスリリース1件、つく奨励賞受賞他技術開発の要点80「モアレを利⽤した微⼩変位・ひずみ分布計測技術の開発」完全結晶を作ることが難しいiC,Gaなど次世代パワー半導体製において転位欠陥少ないプロセス技術を確立することで、高信頼性パワーデバイスが実現され、電気自動車普及促進や省エネを実現することができるアウトカム民間企業と共同研究「モアレ法によるデバイス中転位欠陥検出に関する研究」→デバイス長寿命化、高性能化ために必要な転位分布を制御するためプロセス確立に貢献評価対象となるTEM像2次元フーリエ変換からY軸格子みを抽出TEM像Y軸格子像サンプリングモアレ法により格子像を拡大Y軸格子サンプリングモアレ縞位相図転位に相当するモアレ縞不連続点確認が容易目視観察から転位検出困難- 62 -

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