平成27年度研究評価委員会(材料・化学領域)評価報告書
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-49-研究アプローチ研究テーマナノ加工技術の開発-吸引プラズマ装置の開発-目的ナノ加工技術開発により、半導体系だけでなくフレキシブルフィルム材料のエッチング装置開発を目指す。65従来の噴出プラズマ法吸引プラズマ法従来法(左図):エッチング時にゴミの再付着が見られる。吸引プラズマ法(右図):ゴミは確認できない。abエッチングでゴミが出ないエッチング装置として実用化にはプラズマの制御が鍵最新半導体デバイスの不良解析の時間とコストを大幅削減吸引型局所プラズマ加工装置研究項目③「ナノカーボンをはじめとするナノ材料の開発とその応用技術の開発」【特記事項】三友製作所が販売を開始:納品済み:2件、納品予定:1件66タッチパネルにてステージを移動させることにより、スキャン加工(溝加工)も可能フレキシブル・フィルム材料への適応に向け疎水・親水制御等へ展開中H27年度成果✓産総研発のプラズマ吸引技術により、卓上プラズマ装置を開発、上市✓プラズマ制御性を改良し加工精度向上�プログラムによる動作制御でスキャン加工(溝加工)まで可能今年度に上市した卓上プラズマエッチング装置(TP-50B)■直径0.5mmの局所プラズマ加工による精密作業の実現■電動ステージ搭載でプログラムに沿ったエッチング加工■プラズマ発生機構の条件最適化を達成研究項目③「ナノカーボンをはじめとするナノ材料の開発とその応用技術の開発」

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