産総研レポート 2015
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21研究開発の推進組織統治研究開発の推進労働慣行公正な事業慣行社会との共生人 権環境報告 デバイス市場は大量生産が主流です。ところが、生産の大規模化が進みすぎて、最近では少量品の製造には適さなくなって非常に高価格になっています。数十万個クラス以下の少量生産は、実は、全市場の5割すなわち15兆円で、市場の主要部分を構成していることがわかっています。産総研では、半導体集積回路を製造するための大規模な工場生産(メガファブ)から設備投資を大幅に縮小し、この数十万個以下の少量生産に対応する、新しい半導体システムの姿~ミニマルファブモデルを提案しています。このシステムでは、研究開発と生産を同じシステムで行うことができます。この新しい産業として最初に現れる実用未来生産システムでは、1ラインの投資額は従来のメガファブと比べ数千分の1の、およそ5億円程度になります。このシステムは、(1)ハーフインチ径ウェハ、(2)装置サイズ30 cm幅、(3)局所クリーン化生産システムによるクリーンルームレス、という3つの特長があります。超小型のため、トランジスタ生産の1プロセス当たりの電力量は、メガファブの300 mmΦウェハの3,600円(5.2円/cm2)であったものが、ウェハ当たりわずか1円で済んでしまいます。この新たな生産システムを創造するための包括的な組織、産総研コンソーシアム ファブシステム研究会を2010年1月に設置し、現在100社、9大学、3特許事務所、5公的機関と開発を進めています。 すでに上記基本仕様を備えたミニマル装置の開発が進み、トランジスタをクリーンルーム無しで試作できるようになっています。 再生可能エネルギーネットワーク開発・実証 再生可能エネルギーネットワーク開発・実証ミニマルファブメガファブとミニマルファブの比較産総研のミニマル装置群

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