イベント

近年、半導体プロセスの自律化が急速に進展しており、特にAI・機械学習を活用したリアルタイム制御やプロセス最適化が注目されています。この流れの中で、マテリアルズインフォマティクス（MI）との融合も加速しており、新材料探索やプロセス条件の最適化に寄与し、AIによるシミュレーションと実験データのフィードバックを組み合わせることで、開発を効率化が進んでいます。今回のセミナーでは、こうした半導体プロセスの自律化の潮流を専門家の意見を聞きながら多面的に考えます。