産総研では、これまで蓄積して来たノウハウ・成果を広く社会に普及させることを目的に、幅広い分野の先端機器をノウハウ等とともに共用施設として社会に公開しております。
これらの共用施設をご利用頂くための制度が「共用施設等利用制度」で、以下の特徴があります。
- 約款に基づく利用申込手続きのため、契約手続きが明確です。
- 発生した知的財産権は原則として利用者に帰属します。
- 約款内で明瞭な秘密情報管理のルールを定めております。
- 単価表で時間（枚数）当たり価格が公開されているため、コストの見通しが立て易くなっております。
共用施設のコロナ対応状況について
ナノプロセシング施設（NPF）
新型コロナウィルス対策のため、(1)受付にてセルフチェックシートの記入、(2)CR前室への入室人数制限、(3)安全ガイダンス、装置トレーニング、技術補助、の同時対応人数制限、(4)手指の消毒、及び(5)３密回避、をお願いします。
スーパークリーンルーム産学官連携研究棟（SCR）
新型コロナウィルス対策のため、現在、外部の方の来訪利用および所内の方の入室に関して人数制限を実施しております。また、見学は当面の間中止します。
先端ナノ計測施設（ANCF）
感染リスク低減の観点から、原則としてメール等による事前相談と技術代行による支援のみを実施させ技術代行のみお受けしておりますが、結果をお届けするまでに通常より時間がかかる見込みです。詳細等については、各装置担当者またはANCF事務局にお問い合わせ下さい。
蓄電池基盤プラットフォーム（BRP）
① 設備の供用は、基本的に従来通り。
② これまでと同様、測定代行や技術補助は行わない。（予約者本人による装置利用のみ。）
③ 新規テーマ受け付け後に行う技術相談は、原則としてTeamsを通じて行う。対面形式を要する場合は、充分な感染防止対策を行った上で対応。
④ 装置やPC（キーボード、マウス等）に手を触れる前後には、充分な手指の消毒をお願いする。
先端バイオ計測施設（BIO)
技術代行のみお受けしておりますが、結果をお届けするまでに通常より時間がかかる見込みです。
MEMS研究開発拠点(MEMS)
MEMS施設では、感染拡大防止の観点から利用を制限させていただく場合がございますので、予約時にご確認ください。
その他詳細についてはMEMS施設担当までお問合せください。
身体動作解析産業プラットフォーム（MAP）
MAP施設では、感染拡大防止の観点から利用を制限させていただく場合がございますので、予約時にご確認ください。
その他詳細についてはMAP施設担当までお問合せください。
ご利用に関する注意事項（規程、約款、規則）
産総研では、次の「国立研究開発法人産業技術総合研究所共用施設等の利用に関する規程」及び「共用施設等利用約款」に基づき共用施設をご利用いただいております。
先端ナノ計測施設(ANCF)とナノプロセシング施設(NPF)をご利用の場合で、文部科学省事業マテリアル先端リサーチインフラに基づき共用施設利用により得られたデータを登録される場合は、次の「マテリアル先端リサーチインフラデータ登録約款」及び「マテリアル先端リサーチインフラデータ登録規則」が適用されます。
※ 2023年4月1日 「共用施設等利用約款」「マテリアル先端リサーチインフラデータ登録約款」「マテリアル先端リサーチインフラデータ登録規則」が改正されました。
共用施設等利用約款改正のポイント
- 安全保障輸出管理関連法令の遵守に関する条文として、第19条を追加しました。
- 共用施設等一覧（別紙第1）に記載の装置について一部追加及び変更を行いました。
マテリアル先端リサーチインフラデータ登録約款及び規則の改正のポイント
- NIMSのサイトポリシー、プライバシーポリシーについての条文を追記しました。
規程・約款・規則の改正版は下記のリンクからダウンロードしてください。
公開している共用施設のプラットフォーム
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ナノプロセシング施設（NPF）
電子線を用いる微細構造描画装置、走査電子顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡などの計測装置及びナノデバイスや材料の電子・光機能評価装置を有し、オリジナルな着想をいち早く具現化すべく、日々先端的な材料・デバイスの微細加工から機能検証までを一貫して推進しています。
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スーパークリーンルーム産学官連携研究棟（SCR）
3,000㎡のクラス３クリーンルームに、300mmウエハ用半導体プロセス装置を揃えています。既存のプロセスメニューを活用した研究開発や個々のプロセスや単独処理などを行うことができます。
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先端ナノ計測施設（ANCF）
既存の計測装置の限界を克服する次世代計測機器の開発、次世代計測手法の開発、及び解析ソフトウェアやデータベースなどの知識体系化を行っています。さらに、これらの最先端計測機器とノウハウを広く公開するとともに、ISO-IEC標準化による使い勝手の向上によって、ナノテクノロジー等におけるイノベーション創出を推進しております。
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超伝導量子回路試作施設（Qufab）
超伝導量子コンピュータ・超伝導量子アニーリングマシン・量子ビット制御用超伝導回路試作を行うための施設です。
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蓄電池基盤プラットフォーム（BRP）
次世代蓄電池の研究開発を支援するため、最先端装置群をアンダーワンルーフに設置し、共用インフラとして全国の研究者に提供することを目的としているプラットフォームです。
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先端バイオ計測施設（BIO)
糖鎖、植物転写因子を解析するための先端機器を提供し、各種生体試料の解析を支援しています。
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MEMS研究開発拠点(MEMS)
200/300mm（8/12インチ）ウェハのMEMSプロセスラインと集積化・評価設備を揃え、MEMSファンドリーサービスを提供しています。
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身体動作解析産業プラットフォーム(MAP)
四国センターにおいて、最新のモーションキャプチャ装置により複雑な人や物の動きを計測・数値化することができます。また、下肢筋力測定器や体組成計なども備えられており、人の身体情報と関連付けた計測にも対応可能で、製品・サービスの開発から、エビデンスデータの取得まで幅広い目的にご利用いただけます。
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未踏デバイス試作共用ライン(COLOMODE)
次世代半導体電子デバイスを試作研究開発するためのクリーンルームです。４インチウエハを用いたシリコン半導体デバイスプロセスの実施を中心とした機能を持ちます。
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AIチップ設計拠点(AIDC)
半導体チップを設計するための設計環境をご利用いただけます。本拠点の設計環境はクラウド上に構成されており、利用者は遠隔アクセスにより利用可能です。半導体設計に特化したシステムを利用して、アナログ・デジタル系の幅広い半導体チップ設計が可能です。その他、大規模論理エミュレータによる設計検証や、AIDCが整備したAIアクセラレータ用のSoC評価プラットフォームを利用できます。
ご利用の手続き
パンフレット
共用施設等利用制度のパンフレットに施設の詳細等を記載しております。是非こちらもご参照ください。
単価表
※これらの単価表に記載された金額に消費税等は含まれておりません。