Vol.4 No.4 2011

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研究論文:フレキシブル太陽電池の高性能化技術開発(増田)−198−Synthesiology Vol.4 No.4(2011)ト®上に、この転写技術を用いてスーパーストレート構造のアモルファスシリコン太陽電池を作製し、その有効性を実証している[3]。この他、耐候性の高いフレキシブル太陽電池の作製を目的に、ポリマー基材上へのバリアー膜形成についても、このコンソーシアムで石川製作所ならびに石川県工業試験場を中心に研究を進めた。部材メーカーへの導入を容易にするために、化学気相成長法による窒化シリコン系バリアー膜の原料ガスに特殊高圧ガスであるモノシランを使わないことを目標とし、ヘキサメチルジシランを原料ガスに用いた場合でも、PENフィルム上に堆積速度40 nm/minで形成したバリアー膜において、水蒸気透過率0.02 g/m2dayを達成した。6 残された課題「フレキシブル太陽電池基材コンソーシアム」は開始から6年目を迎え、産総研とコンソーシアム参加企業の経験、知見を結集することで、研究段階、実験室レベルでの目標はおおむね達成できた。実用化のためには、太陽電池メーカーでの試作が今後重要となる。コンソーシアムで開発した基材を、現行の基材に置き換えるためには、太陽電池デバイス構造の設計変更も必要となる可能性があり、これからの段階では、太陽電池メーカーの意思決定も重要となる。今後は、コンソーシアム研究活動の段階から、オブザーバーとして参加した太陽電池メーカーとの協業による、実用化を視野に入れた開発段階に移行する時期にあり、産総研、コンソーシアム参加企業、太陽電池メーカーの間で、太陽電池メーカーへの技術移転を目的とした検討を開始したところである。また、「フレキシブル太陽電池基材コンソーシアム」でのコンソーシアム運営方法の経験を活かし、2009年10月1日からは、民間企業33社、太陽光発電技!"#!$PEN基材PI基材024681012141610.80.60.40.20Voltage(V)024681012141610.80.60.40.20Voltage(V)Current Density(mA/cm2)Current Density(mA/cm2)Asahi-UAsahi-U転写ポリイミドテクスチャなしポリイミドAsahi-UAsahi-U転写PENモスアイ転写PENPEN基材PI基材0700800600500400300Wavelength(nm)Quantum EfficiencyAsahi-UAsahi-U転写ポリイミドテクスチャなしポリイミドAsahi-UAsahi-U転写PENモスアイ転写PENテクスチャなしPEN0.10.20.30.40.50.60.70.80.910700800600500400300Wavelength(nm)Quantum Efficiency0.10.20.30.40.50.60.70.80.917.70.620.8714.1モスアイ転写PEN8.10.600.8715.6Asahi-U転写PEN6.50.680.8311.7平坦PI8.30.650.8415.0Asahi-U転写PI8.20.590.8815.7Asahi-U効率 (%)曲線因子開放電圧(V) 短絡電流密度(mA/cm2)基材表1 各種基材上に作製した太陽電池の特性図7 PIフィルムならびにPENフィルム上に作製したアモルファスシリコン太陽電池の電流密度-電圧特性図8 PIフィルムならびにPENフィルム上に作製したアモルファスシリコン太陽電池の分光感度特性

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