Vol.2 No.4 2009

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研究論文:実時間全焦点顕微鏡の開発・製品化(大場)−273−Synthesiology Vol.2 No.4(2009)0 μm10 μm20 μm30 μm40 μm50 μm60 μm70 μm80 μm90 μmこの映像は動画であるので、測定対象物体が動いても全焦点画像は逐次更新される。さらに、奥行き画像も得られている。7 製品段階期今回ここで開発してきたシステムは、株式会社フォトロンから2003年度に製品化された。このシステムの概観を図21に示す。基本的な構成は試作機と変わらないが、カラー画像に対応したこと、システムの大きさを極力コンパクトに抑えるなど、実用に耐える工夫がなされている。また、この製品システムで得られた全焦点画像の例を通常の画像と比較して図22に示す。図22上にはICチップのワイヤーボンディング部分、図22下には透過光による珪藻と微生物をそれぞれ示している。どちらも対物レンズは50倍のものを用いている。実績としては、対物レンズの重さなどの関係から、100倍程度の対物レンズまでは稼働可能である。1mmから0.1mm程度の低倍率に関しては実体顕微鏡が、サブミクロンの高倍率になると電子顕微鏡が広く用いられており、光学顕微鏡の光学限界などから、生物などのバイオ系や、半導体検査などでは倍率がさほど高いものは必要とされないことから。そこで、程度の倍率で実用上問題がないことを確認した。全焦点画像通常画像全焦点画像通常画像ICチップ検査微生物観測図19 典型的な顕微鏡画像例図20 全焦点顕微鏡画像例(動画)図21 製品版システム概観図図22 製品版画像出力例

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