Vol.2 No.3 2009

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研究論文:ガス中微量水分測定の信頼性の飛躍的向上(阿部)−233−Synthesiology Vol.2 No.3(2009)執筆者略歴阿部 恒(あべ ひさし)1996年金沢大学大学院自然科学研究科博士課程修了、博士(理学)。工業技術院産業技術融合領域研究所、資源環境技術総合研究所(ポスドク)を経て、2001年産総研入所。計測標準研究部門温度湿度科湿度標準研究室に所属し、微量水分標準の研究に従事。International Technology Roadmap for Semiconductors 2007,http://strj-jeita.elisasp.net/strj/ITRS07/Roadmap-2007.htm小林芳彦,万行大貴,小野宏之,池田拓也,池永和正,松本 功,杉原健一,渋谷和信:有機金属気相成長法によるGaN系化合物半導体成長に対するNH3ガス中の水分の影響,大陽日酸技報,26,1-6 (2007).http://www.tn-sanso.co.jp/jp/rd/report26.htmlH. H. Funke, B. L. Grissom, C. E. McGrew and M. W. Raynor: Techniques for the measurement of trace moisture in high-purity electronic specialty gases, Rev. Sci. Instrum., 74, 3909-3933 (2003).M. Stevens and R. Benyon: Conceptual design of a low-range humidity standard generator, Papers and Abstracts from the Third International Symposium on Humidity and Moisture, 1, 103-110 (1998).H. Abe and H. Kitano: Development of humidity standard in trace-moisture region: Characteristics of humidity generation of diffusion tube humidity generator, Sens. Actuators A, 128, 202-208 (2006).L. Greenspan: Functional equations for the enhancement factors for CO2-free moist air, J. Res. Nat. Bur. Stands., 80A(Phys. and Chem.), 41-44 (1976).日本工業規格:JIS Z 8806 湿度−測定方法,日本規格協会 (2001).D. Sonntag: Important new values of the physical constants of 1986, vapor pressure formulations based on the ITS-90, and psychrometer formulae, Z. Meteorol, 70, 340-344 (1990).S. Boyes and S. Bell: Assessment of fundamental data [1][2][3][4][5][6][7][8][9]used in humidity metrology, NPL Report, CMAM 42 (1999).International Technology Roadmap for Semiconductors 2000 Update,http://www.itrs.net/Links/2000UpdateFinal/2kUdFinal.htmlRubotherm,http://www.rubotherm.de/H. Abe, H. Kitano and C. Takahashi: Design of the NMIJ diffusion tube humidity generator, Papers from the 4th International Symposium on Humidity and Moisture, 33-39 (2002).H. Kitano, C. Takahashi and N. Ochi: Moisture measurement in air by vacuum ultraviolet light-excited fluorescence method, Papers and Abstracts from the Third International Symposium on Humidity and Moisture, 1, 288-293 (1998).A. O’Keefe and D. A. G. Deacon: Cavity ring-down optical spectrometer for absorption measurements using pulsed laser sources, Rev. Sci. Instrum., 59, 2544-2551 (1988).G. Berden, R. Peeters and G. Meijer: Cavity ring-down spectroscopy: Experimental schemes and applications, Int. Rev. Phys. Chem., 19, 565-607 (2000).M. Mazurenka, A. J. Orr-Ewing, R. Peverall and G. A. D. Ritchie: Annu. Rep. Prog. Chem., Sect. C, 101, 100-142 (2005).川崎昌博, 江波進一: キャビティーリングダウン分光法による微量物質検出, レーザー研究, 34 (4), 289-294 (2006).Japan Calibration Service System,http://www.iajapan.nite.go.jp/jcss/S. Nakao, Y Yokoi and M. Takamoto: Development of a calibration facility for small mass flow rates of gas and the uncertainty of a sonic venturi transfer standard, Flow Meas. Instrum., 7, 77-83 (1996).N. Bignell: Using small sonic nozzles as secondary flow standards, Flow Meas. Instrum., 11, 329-337 (2000).M. Hayakawa, Y. Ina, Y. Yokoi, M. Takamoto and S. Nakao: Development of a transfer standard with sonic venturi nozzles for small mass flow rates of gases, Flow Meas. Instrum., 11, 279-283 (2000).H. Abe and H. Kitano: Improvement of flow and pressure controls in diffusion-tube humidity generator: Performance evaluation trace-moisture generation using cavity ring-down spectroscopy: Sens. Actuators A, 136, 723-729 (2007).H. Abe, H. Tanaka and H. Kitano: Uncertainty analysis of evaporation rate in magnetic suspension balance/diffusion-tube humidity generator, Int. J. Thermophys., 29, 1555-1566 (2008).S. A. Bell, T. Gardiner, R. M. Gee, M. Stevens, K. Waterfield and A. Woolley: An evaluation of performance of trace moisture measurement method, Proceedings of 9th International Symposium on Temperature and Thermal Measurements in Industry and Science, 1, 663-668 (2004).[10][11][12][13][14][15][16][17][18][19][20][21][22][23][24]参考文献数科長、田中秀幸研究員、倉本直樹研究員、松本信洋研究員と、他の多くのNMIJ研究者に感謝します。装置製作・改造にご協力いただいたRubotherm社、Tiger Optics社、株式会社平井、東亜ディーケーケー株式会社、若菜設計事務所、株式会社堀場エステック、株式会社フジキンの関係者にお礼申し上げます。校正サービス体系の整備にご協力いただいた(財)化学物質評価研究機構の丸山正暁氏に感謝します。従来型微量水分計の性能の問題について意見交換してくださった多くの方々に感謝の意を表します。霜点:湿潤気体を圧力一定の条件で冷却していき結露が起こる温度を露点という。露点は気体に含まれる水蒸気量が少ないほど低温となる。氷点以下で霜となって現れる場合は霜点(そうてん)とよぶ。一次標準:計量学的に最も高い質を持ち、国際単位系による不確かさの完全な表が与えられ、同一の量の他の標準の参照なしに実現される標準。水蒸気増加補正係数:乾燥空気が存在することによって生じる水蒸気圧の変化を補正する係数。乾燥空気が存在すると、乾燥空気による加圧、水への溶解、水蒸気分子との相互作用によって、水蒸気だけが存在する場合とは異なる水蒸気圧となる。用語説明用語1:用語2:用語3:

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