第3期研究戦略 平成24年度版

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83第二部【カーボンナノチューブ研究拠点(つくばセンター)】【ナノエレクトロニクス研究拠点(つくばセンター)】 単層カーボンナノチューブ(CNT)の高品質化および部材化を図り、超軽量・高強度融合材料をはじめとする、産業応用の支援体制を整備します。新事業・新産業創出に向けたナノエレクトロニクスデバイスの試作から評価・実証に至る統合的な研究開発の拠点を整備します。[実績]・スーパーグロース法を用いたCNT形状制御技術と、連続合成技術を組み合わせてスーパーグロース生産プラントを実用化し、本プラントで生産されたCNTのサンプル提供を開始しました。[実績]・スーパークリーンルームに、回路線幅45/65nm、ウエハ径300mmの集積デバイス基本特性検証ラインを整備し、コア技術の蓄積を進めました。・新たにEUVと光ネットワークのプロジェクトが加わり、6つのナショナルプロジェクトが研究活動を推進しています。・ナノエレクトロニクス研究拠点には企業研究者約150名が集結しています。[今後のアクションプラン]・単層CNTを幅広く提供して、既存材料に単層CNTを融合させた新機能材料の市場投入を加速します。・CNT研究開発・ナノ安全評価の研究拠点を構築し、評価・安全での世界のリーダーシップを獲得します。[今後のアクションプラン]・つくばの強みを活かして拠点の魅力を高め、デバイスメーカ-、材料メーカー、装置メーカーの研究者が集結する研究開発体制を構築します。産総研で開発した量産技術(スーパーグロース法)面積:500 mm x 500 mm拠点内部の様子

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