第3期研究戦略 平成24年度版

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82第二部Ⅲ オープンイノベーション推進拠点事例【パワーエレクトロニクス研究拠点(つくばセンター)】 【N-MEMS研究拠点(つくばセンター)】 SiCデバイスチップの実用レベルでの生産技術の確立と応用企業等への供給システムまでの統合的なパワー半導体の研究開発・実証の拠点を整備します。国内MEMS関連産業の国際競争力強化を目的とし、知恵・経験・知財・最新設備・製造プロセスを集積したR&Dプラットフォームを構築します。[実績]・西事業所にSiCパワーエレクトロニクス研究開発の拠点を整備しました。・SiCアライアンスを立上げ、全国の大学・産業界などとネットワークを強化しました。・産総研MTAによるショットキーバリアダイオードのサンプル品の供給を開始しました。・SiC素子量産試作に関しての研究施設の貸付を開始しました。[実績]・ ナショナルプロジェクト(BEANSプロジェクト、グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト「GSNプロジェクト」 、最先端研究開発支援プログラム「マイクロシステム融合研究開発」)を実施し、最新設備を整備するとともに、得られた成果、育成された人材を集積しています。・世界最先端の8/12インチMEMS設備を稼働しました。[今後のアクションプラン]・パワーエレクトロニクス研究拠点として、産業化実証へ向けた活動を開始します。・パワーエレクトロニクス研究拠点を活用した民活型共同研究体(TPEC)を発足させ、オープンイノベーションを推進します。・パワーエレクトロニクスの人材育成を推進します。[今後のアクションプラン]・R&Dプラットフォームを活用し、ユーザーを含む産学官が結束してイノベーション創出を可能とする仕組み(MNOIC)を結成し、成果普及を目的としたオープンな研究施設の貸付を開始します。・MNOICは、参加者に対しMyラボ機能、Myファブ機能を持つと同時に、試作支援等の多彩なサービスを提供するとともに、MEMS人材育成、産学官連携の場を目指します。SiCショットキーバリアダイオードウェハ開発ライン

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