第3期研究戦略 平成24年度版

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56第二部TIA-nanoで進めるオープンイノベーションナノエレクトロニクスパワーエレクトロニクスN-MEMSカーボンナノチューブ国内外のトップ企業によるEUVリソグラフィ及び関連技術に関する共同研究開発(株式会社EUVL基盤開発センター) パワエレ研究開発の民活型オープンイノベーション研究体TPEC(Tsukuba Power Electronics Constellation)研究開発だけでなく、柔軟なサンプル提供チェーン、人材育成を網羅した日本型オープンイノベーションモデルの構築を目指します。NMEMS研究拠点に、産官学連携によるイノベーションの場MNOIC(Micro Nano Open Innovation Center)研究開発から少量量産試作まで、ユーザーのニーズに応じたサービス:Myラボの提供 Myファブの提供TIA-nanoの実績 (2011)拠点を活用するプロジェクト数 18事業拠点に参加している企業数 延べ59社外部から参加している研究者 468名高純度単層CNTの試料提供事業 単層CNT量産実証プラントで製造したCNTサンプル提供を開始。試料提供を通して、有望な用途を発掘。素材を起点に、新事業育成拠点に世界で唯一の、EUVマスクブランク評価装置

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