第3期研究戦略 平成24年度版

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143第三部【研究概要】・イノベーションのより一層の推進には、既存分析装置を越える性能を持つ先端計測機器が必要です。先端ナノ計測施設(ANCF)では、独自開発の最先端かつ革新的な先端計測機器を保有し、市販の計測装置では不可能な物性評価を行うことが出来ます。ANCFの持つ高度な先端計測機器・技術を広く一般に公開することで、日本におけるイノベーションを強力にサポートします。【現状】・ANCFでは以下の先端計測機器を材料評価に提供しています。表面プローブ顕微鏡(ナノ表面構造)、質量分析(分子)、陽電子欠陥測定(ナノ空孔)、核磁気共鳴(NMR)、レーザー分光(電子状態)。・計測下限:長さ~10-10m(オングストローム)、時間~10-15s(フェムト秒)【研究計画】・外部公開にむけた機器整備特に産業界のニーズに応えるべく、ナノテクビジネス協議会(NBCI)にて実施のアンケートにより、外部企業からの利用希望の多い産総研オリジナルの計測技術を、外部ユーザーが利用しやすいように整備します。・整備内容フェムト秒レーザーを更新し可視・近赤外過渡吸収分光装置を高感度化しました。超伝導検出器を搭載した蛍光収量X線吸収分光(XAFS)システムを新規に公開しました。【目標と期待される成果】・更に広範なユーザーニーズに対応可能とするため、機器の高度化開発(例:AFMのUHV化)、支援サービスの高度化(例:計測デバイス作製プロセスのノウハウ指導)を目指しています。独自計測機器による様々な材料評価を提供することで、新たな研究シーズ創成によるイノベーションを活性化し、持続的社会の実現に貢献します。計測・計量標準分野代表的取組材料評価のための先端計測・分析機器開発(先端計測技術)4±0.5nmMWCNTSi substrate (nm) 200 350 500 hard表面プローブ顕微鏡(ナノ表面構造)超伝導分析機器陽電子欠陥測定(ナノ空孔)先端計測機器・技術を一般に公開することで、日本におけるイノベーションを活性化核磁気共鳴(NMR)、レーザー分光(電子状態)軽元素XAFS分析高強度陽電子ビーム計測装置3次元欠陥分布評価例質量分析(分子)Kinetic energyヘモグロビンサブユニットのMS測定29Si NMRスペクトルイオン照射ガラス試料

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