技術宝箱

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特 許12. X線回折法による薄膜のおもてうら判定請求項1 測定対象の薄膜結晶の第1の極性に関して、膜異常分散を示す2θ0(θ-2θ法における回折角2 dsinθ=λを満たす角度)より大きい2θ1におけるX線回折強度と異常分散を示す2θ0より小さい2θ2におけるX線回折強度の比と膜厚の関係を示す第1の検量線を求め、測定対象の薄膜結晶の第2の極性に関して、膜異常分散を示す2θ0より大きい2θ1におけるX線回折強度と異常分散を示す2θ0より小さい2θ2におけるX線回折強度の比と膜厚の関係を示す第2の検量線を求める検量線取得ステップと、測定対象の薄膜結晶のX線回折強度をθ-2θ法によって測定することと、上記測定対象の薄膜結晶に関して、上記2θ1におけるX線回折強度と上記2θ2におけるX線回折強度の比を演算することと、上記測定対象の薄膜結晶に関して求めたX線回折強度の比を上記第1の検量線と上記第2の検量線のいずれの直線上に乗るのかを調べることと、を含む薄膜結晶の極性の判定方法。請求項2 請求項1記載の薄膜結晶の極性の判定方法において、上記検量線取得ステップは、薄膜の膜厚を測定することと、第1及び第2の極性の面におけるX線回折線の広がりを測定することと、装置関数を求めることと、異常分散の項を含めて計算により回折強度の真のスペクトルを求めることと、上記薄膜の膜厚、X線回折線の広がり、装置関数、及び、回折強度の真のスペクトルから検量線を作成することと、を含むことを特徴とする薄膜結晶の極性の判定方法。 請求項3 請求項1記載の薄膜結晶の極性の判定方法において、上記検量線取得ステップは、第1の極性の膜を有する試料のX線回折強度をθ-2θ法によって測定することと、上記第1の極性の膜を有する試料に関して、異常分散を示す2θ0より大きい2θ1におけるX線回折強度と異常分散を示す2θ0より小さい2θ2におけるX線回折強度の比を演算することと、上記第1の極性の膜を有する試料に関して、上記X線回折強度の比の値と膜厚の関係をプロットし、それを通る直線を第1の検量線とすることと、第2の極性の膜を有する試料のX線回折強度をθ-2θ法によって測定することと、上記第2の極性の膜を有する試料に関して、上記2θ1におけるX線回折強度と上記2θ2におけるX線回折強度の比を演算することと、上記第2の極性の膜を有する試料に関して、上記X線回折強度の比の値と膜厚の関係をプロットし、それを通る直線を第2の検量線とすることと、を含むことを特徴とする薄膜結晶の極性の判定方法。 ・以下、請求項4から5は省略。環境・エネルギー77

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