技術宝箱

77/333

技術紹介12. X線回折法による薄膜のおもてうら判定この測定においてθ/2θスキャンを行うことで、薄膜結晶により連続X線が分光される。ZnOではZn吸収端が図3の28.5度付近に存在し、その前後でZn面とO面の回折パターンが大きく異なる。しかし膜厚を変化させると、それぞれの回折パターンも大きく異なる。そこで、膜厚を考慮することにより、図4に示す通りZn面およびO面が判別できることを実証した。図4で、上部の検量線にのる場合はO面、下部の検量線にのる場合はZn面である。同図の検量線を利用することにより、一度の測定で(もちろんひっくり返さず)ZnOの裏表を判定できる。ZnOでは、酸によるエッチングで結晶の表裏が可能である。X線回折による判定法の結果はエッチングによって確認している。図5にその結果を示す。Zn面では、バルク結晶、薄膜結晶のいずれでも6角形のピット、O面では小山状の特長的なエッチピットを示した。図3 Zn面、O面のZn吸収端前後の回折パターン図5 塩酸エッチングによるZnOの表裏の相違図4 膜厚を考慮した表裏の回折強度変化環境・エネルギー75

※このページを正しく表示するにはFlashPlayer9以上が必要です