技術宝箱

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概 要ライフサイエンス3 製品化に必要な課題 ①目標とする市場技術分野薄膜の屈折率と膜厚の二次元分布を高精度、高速、かつ高い空間分解能で測定・半導体製造の品質管理・二次元光学結晶の開発支援・多数のタンパク質を同時に検出するマルチセンサの読み取り装置 ②事業化に必要な技術・光学装置設計・製作技術・電子回路設計・製作技術・プログラミング・システム化技術 ③事業化に必要な検証・特になし。4 研究成果の特長 ①ポイント・光弾性変調子を用いて数10 kHz~数100 kHzの周波数で測定光に変調をかけ、これと同期させて測定光を断続する。・変調信号と測定光の断続の位相を規則的に変化させて測定を行い、CCDに蓄積した信号の種々の和と差(線形結合)を計算する ②目的及び効果・検出器にCCDを用いることにより、二次元の測定を高速に行うことができる。・一定周波数での変調・復調を行い、白色ノイズを除去することにより、高精度の測定が行える。・偏光素子の機械的な操作を行わないため、機械的な振動、素子表面の汚れ、光線の揺らぎなどの影響を受けにくく、高い空間分解能の測定が行えるとともに、さらなる精度の向上が得られる。5 特許関連情報 ①権利化済特許1.特許第4625908号 偏光変調型イメージング・エリプソメータ ②出願中特許 ③試作品・試料提供:有 許諾実績:無 実施許諾:可6 研究者情報所 属:健康工学研究センター生体ナノ計測チーム(四国センター)氏 名:大槻 荘一 / Soichi OTSUKI 連絡先:E-mail:otsuki-so@aist.go.jp47. 偏光変調型イメージング・エリプソメーター283

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