技術宝箱

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特 許42. 薄くて高温でも使える振動・圧力センサー3. 特許第4362586号 登録2009年8月28日(出願2004年3月29日) ・出願人 独立行政法人産業技術総合研究所・発明の名称 : 高耐熱誘電性薄膜の製造方法、該製造方法によって得られる高耐熱導電性薄膜、および積層膜、並びに該積層膜を備えるデバイス・要約 : 発明の名称に同じ ◆背景と課題従来の構成では、耐熱誘電性薄膜は、良好な機械的特性を有さないと言う問題が生じ、これまて高温安定性、抵抗温度係数および機械的特性の全てを満たす耐熱導電性薄膜は存在しなかった。 ◆課題を解決するための手段解決のため、高温(たとえば1000℃以上の高温)でも形状が変化せず、良好な導電性を保持する高耐熱導電性薄膜の製造方法、該製造方法によって得られる高耐熱導電性薄膜、および積層膜、並びに該積層膜を備えるデバイスを提供すること。換言すれば、薄膜材料(積層膜)および当該薄膜材料から形成される高耐熱導電性薄膜を製造する方法、並びにその理由として該積層膜を有するデバイスを供給する。請求項1高耐熱導電性薄膜を製造する方法であって、該方法は、以下の工程:ルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、およびイリジウム(Ir)からなる群より選択される白金族元素の少なくとも1種類を含む薄膜を形成する工程:上記薄膜上にさらに、タングステン(W)、モリブデン(Mo)およびクロム(Cr)からなる群より選択される高融点金属元素の少なくとも1種類を含む薄膜を積層する工程:並びに積層させた膜を高温環境下に供する工程を抱合することを特徴とする抗体熱導電性薄膜を製造する方法請求項2~13省略257標準・計測

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