技術宝箱

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特 許42. 薄くて高温でも使える振動・圧力センサー1. 特許第2909532号 登録1999年4月9日(出願1996年10月21日)・出願人 独立行政法人産業技術総合研究所・発明の名称 : 高温薄膜型振動センサー・要約 : セラミックス基板と圧電性セラミックス薄膜からなり、特に、小型および高温下での高振動数の測定が用杞憂され部位に使用するに適している ◆背景と課題高温用のセンサーは、バルクセラミックスからなる圧電体を用いた振動センサーが使用されているが、センサーの小型化がしにくいものであり、作動温度も300℃程度であった。 ◆課題を解決するための手段と請求項1酸化物系、炭化物系、窒化物系またはホウ化物セラミックスの焼結体からなる基板上に、圧電性セラミックスの焼結体からなる基板上に、圧電性セラミックを合成し、圧電効果により発生する電圧および./また電気容量変化を取り出すために一対の電極をセラミックス薄膜の片側のみに付設したことを特徴とする高温薄膜型振動センサー請求項2~4省略2. 特許第3020130号 登録2000年1月14日 (出願1994年2月18日)・出願人 独立行政法人産業技術総合研究所・発明の名称 : 圧力測定機能を有する複合材料・要約 : 構造用材料に掛けられた圧力を測定することにより、構造用材料の破壊を事前に予知できることを可能にし、また小型で耐熱性に優れた圧力センサにも応用できる複合材料に関する ◆背景と課題複雑な形状の構造用材料、あるいはセンサをセットする空間の余裕がない構造用材料、高速運動によりセンサをセットできない構造用材料、高温下で使用する構造用材料にも適用することが出来、掛けられた圧力を測定することにより、破壊を未然に予知する ◆課題を解決するための手段と請求項1構造用材料表面上に、圧力を掛けた場合に電気容量変化を起こす誘電体、圧電対、焦電体または強誘電体のいずれかの薄膜を接合し、構造用材料と前記薄膜との間には電極を設けないで、前記薄膜の構造用材料との接合面とは反対側の表面に電極を設けてなり、該電極に電気容量変化を測定する測定装置を接続するようにすることを特徴とする圧力測定機能を持つ複合材料請求項2~3省略256中小企業のための技術宝箱特許情報

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