技術宝箱

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技術紹介42. 薄くて高温でも使える振動・圧力センサー1. 特長高温(1000℃以上)でも形状が変化せず、良好な導電性を保持することができる、高耐熱誘電性薄膜の製造方法を開発し、これを使用した高耐熱導電性薄膜とその積層膜を使用したデバイスを開発し、800℃まで使用可能で、幅広い周波数領域で動作する小型のセンサが開発できた。対衝撃、爆発など高温まで使用できるので、今までのセンサより遥かに用途が広い・ 温度-196~800℃(液体窒素温度から、鉄が赤熱するまで)・ 圧力0.01 MPa~300 MPa (指先にかすかに感じる圧力から1万メートル深海の三倍まで)・ 周波数0.3 Hz~1 MHz(脈拍から、超音波まで)・ 大きさ・厚さ0.01 mm(超薄型 何にでもはさめる)2. 技術の背景今までの水晶をベースにしたセンサーは、小型化が難しく、また作動温度も300℃ぐらいであり、高温で動作するセンサーが望まれていた。爆発加工などや、射出成形なども圧力が重要ではあるが、モニターが難しかった。255標準・計測

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