技術宝箱

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技術紹介42. 薄くて高温でも使える振動・圧力センサー概要開発している圧電体薄膜を利用した、過酷環境下での動作を特徴とする新しいタイプの燃焼圧センサおよび高温用アコースティック・エミッション(AE)センサを研究している。以下の図に示すように、センサを試作し、実証(模擬)試験などにより実用化・普及を目指す上での課題を抽出し、それらの課題の解決を目指す。また、半導体製造ラインなどで問題となっている、プラズマ異常放電の検知など、製造現場へのセンシング技術の適用を指向した応用展開も図っていく。更に、物理センサの性能を向上させるために、圧電体薄膜の高圧電化メカニズムの解明や窒化物・酸化物薄膜の材料探索なども同時に行い、薄膜作製技術の研究ならびにナノレベルでの構造制御技術などの確立を目指す。我々は、酸化物系、炭化物系、窒化物系またはホウ化物セラミック焼結体からなる基板上に、圧電性セラミックの焼結体からなる基板上に圧電性セラミックを合成することで、小型、高温で動作するセンサを開発することに成功した。254中小企業のための技術宝箱

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