技術宝箱

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概 要42. 薄くて高温でも使える振動・圧力センサー3 製品化に必要な課題 ①目標とする市場技術分野薄膜圧電体を用いた高温用振動・圧力センサ・船舶エンジンや発電所、製鉄所、化学工場などにおける、ガスタービンやモーター、高温炉などの異常振動検出用センサ・自動切削機械(カッター、ドリル、グラインダー)などの自動加工装置の異常振動検出用センサ・半導体製造プロセスにおける高温高圧下における圧力変化計測用センサ・海洋ソナーなどの音波応用機器のセンサ ②事業化に必要な技術・薄膜作製技術・センサ組立技術・情報処理技術 ③事業化に必要な検証・各種装置特有の状態変化と検知信号との相関性の明確化・取り付け方法の検証・耐熱性、感度、耐ノイズ性の向上4 研究成果の特長 ①ポイント対衝撃、爆発など高温まで使用できるので、今までのセンサより遥かに用途が広い・温度-196~800℃(液体窒素温度から、鉄が赤熱するまで)・圧力0.01 MPa~300 MPa (指先にかすかに感じる圧力から1万メートル深海の三倍まで)・周波数0.3 Hz~1 MHz (脈拍から、超音波まで)・大きさ・厚さ0.01 mm (超薄型 何にでもはさめる) ②目的及び効果・基板材料や信号線の構造を最適化し、耐熱性の向上を目指している。・センサ素子の材料および構造を工夫することによって、感度の向上を進めている。・センサ構造を工夫することによって、ノイズの影響を減らすことを進めている。5 特許関連情報 ①権利化済特許1.特許第2909532号 高温薄膜型振動センサー2.特許第3020130号 圧力測定機能を有する複合材料3.特許第4362586号 高耐熱導電性薄膜の製造方法、該製造方法によって得られる高耐熱導電性薄膜、および積層膜、並びに該積層膜を備えるデバイス ②出願中特許4.特開2007-108161 圧電センサ5.特開2008-157896 圧電センサ6.特開2009-156641 圧電センサ7.特開2009-270127 圧電体の製造方法および圧電素子8.特開2009-302233 圧電素子 ③試作品・試料提供:無 許諾実績:無 実施許諾:可6 研究者情報所 属:生産計測技術研究センター(九州センター) 氏 名:秋山 守人 / Morito AKIYAMA、田原 竜夫 / Tatsuo TABARU連絡先:m.akiyama@aist.go.jp42. 薄くて高温でも使える振動・圧力センサー253標準・計測

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