技術宝箱

253/333

特 許標準・計測41. 細くて大質量のイオンビーム発生装置請求項1イオンビーム発生方法において、イオン液体を含有する溶液をエレクトロスプレー法により気相中に放出させ、必要なイオンのみを利用することを特徴とするイオンビーム発生方法。請求項2イオンビーム発生装置において、該装置は、イオン液体を貯留するイオン液体貯留タンク、エレクトロンスプレーを行う少なくとも導電性針状細管を有するエレクトロンスプレー装置、イオンビームとして利用されなかった該イオン液体の回収を行うイオン液体回収装置及びイオン源内部を備えており、該イオン液体を含有する溶液をエレクトロスプレー法により気相中に放出させ、必要なイオンのみを該イオン源内部の下流に輸送することを特徴とするイオンビーム発生装置。 請求項3請求項2に記載のイオンビーム発生装置において、上記イオン源内部に設けられた電極は、上部から支持されていることを特徴とするイオンビーム発生装置。 請求項4請求項2に記載のイオンビーム発生装置において、イオンビームとして利用されなかったイオン液体を循環させる循環装置を有することを特徴とするイオンビーム発生装置。 請求項5請求項2に記載のイオンビーム発生装置において、上記針状細管の中に白金製細線を充填することを特徴とするイオンビーム発生装置。 請求項6請求項2に記載のイオンビーム発生装置において、イオン源内部の温度及びガス圧力を計測制御する装置並びにイオン液体を含有する溶液の濃度、温度及び流量も計測制御する装置を有することを特徴とするイオンビーム発生装置。 請求項7請求項2に記載のイオンビーム発生装置において、上記針状細管の位置は、3軸方向に調整可能な構造とし、イオン電流を用いて最適な位置に制御することを特徴とするイオンビーム発生装置251

※このページを正しく表示するにはFlashPlayer9以上が必要です