技術宝箱

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特 許39. ナノ粒子ひとつひとつを並べる技術チューブの先端を微粒子に接触させる段階、微粒子との接触部のカーボンナノチューブに電子ビームを集中させることによりアモルファスカーボンを堆積させて微粒子とカーボンナノチューブとを固定させる段階及び固定した微粒子を素子上の目的の場所に配置する段階を含む微粒子の配置方法。(3)金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブを用意する段階、カーボンナノチューブの先端を微粒子に接触させる段階、微粒子との接触部のカーボンナノチューブに電子ビームを集中させることによりアモルファスカーボンを堆積させて微粒子とカーボンナノチューブとを固定させる段階及び固定した微粒子をナノメーターの間隙を持つ電極間に配置する段階を含む微粒子の配置方法。請求項1金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブを用意する段階、カーボンナノチューブの先端を微粒子に接触させる段階及び微粒子との接触部のカーボンナノチューブに電子ビームを集中させることによりアモルファスカーボンを堆積させて微粒子とカーボンナノチューブとを固定させる段階を含む微粒子の捕獲方法。 請求項2金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブを用意する段階、カーボンナノチューブの先端を微粒子に接触させる段階、微粒子との接触部のカーボンナノチューブに電子ビームを集中させることによりアモルファスカーボンを堆積させて微粒子とカーボンナノチューブとを固定させる段階及び固定した微粒子を素子上の目的の場所に配置する段階を含む微粒子の配置方法。 請求項3金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブを用意する段階、カーボンナノチューブの先端を微粒子に接触させる段階、微粒子との接触部のカーボンナノチューブに電子ビームを集中させることによりアモルファスカーボンを堆積させて微粒子とカーボンナノチューブとを固定させる段階及び固定した微粒子をナノメーターの間隙を持つ電極間に配置する段階を含む微粒子の配置方法。請求項4請求項1乃至3のいずれか1項に記載の微粒子の捕獲方法又は配置方法に使用する、金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブ。239ナノテクノロジー・材料・製造

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