技術宝箱

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特 許39. ナノ粒子ひとつひとつを並べる技術1. 特開2009-196041 公開平成21年9月3日(出願平成20年2月22日)・出願人 独立行政法人産業技術総合研究所・発明の名称 微粒子の捕獲方法、配置方法及びこれに使用するプローブ・要約 金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブを用意する段階、カーボンナノチューブの先端を微粒子に接触させる段階及び微粒子との接触部のカーボンナノチューブに電子ビームを集中させることによりアモルファスカーボンを堆積させて微粒子とカーボンナノチューブとを固定させる段階を含む微粒子の捕獲、配置、及び微粒子の捕獲、配置に使用するプローブ。 ◆背景金属、セラミクス、半導体の微粒子を透過電子顕微鏡により観察することが盛んに実施されており、バルクの結晶構造との違いが研究されている。また、微粒子の電気的、磁気的計測は、作製した微粒子の焼結体(粉体に圧力をかけて、焼き固める)を作製後計測するのが主流である。しかし、計測された結果は、粉体そのものの物性か、粉体間の界面による影響かを明確に分離することが困難である。そのため、その電気抵抗、磁気抵抗、熱伝導度の計測を、1個単位で、実施するには、新しいナノ計測手法の導入が必要となる。 ◆発明が解決しようとする課題 1個又は複数個の微粒子を選択して捕獲する技術、捕獲した微粒子をナノメートルの間隙を持つ金属電極間に配置し微粒子1個の物性計測を実現するための配置技術、及び微粒子の捕獲、配置に使用するプローブを提供する。 ◆課題を解決するための手段 (1)金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブを用意する段階、カーボンナノチューブの先端を微粒子に接触させる段階及び微粒子との接触部のカーボンナノチューブに電子ビームを集中させることによりアモルファスカーボンを堆積させて微粒子とカーボンナノチューブとを固定させる段階を含む微粒子の捕獲方法。(2)金属探針の先端にカーボンナノチューブを取り付けたプローブを用意する段階、カーボンナノ238中小企業のための技術宝箱特許情報

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