技術宝箱

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技術紹介39. ナノ粒子ひとつひとつを並べる技術2. 開発の背景など走査プローブ顕微鏡のプローブとしてカーボンナノチューブを先端にもつプローブの製作を行ってきた。その研究の途中で、カーボンナノチューブそのものの物性計測を実施したい要求が、外部機関との共同研究で発生、見いだされた。それに基づき、多層カーボンナノチューブを熱伝導度計測用素子に配置する技術開発を行い、多層カーボンナノチューブ一本の熱伝導度を実験的に計測することに成功した。この技術を更に発展させれば、ナノチューブばかりでなく、ナノ微粒子も捕獲配置できるのではないかと考え、本技術を見いだした。これによりナノ微粒子をナノ電極間に配置することが可能になり、ナノ微粒子一個の物性計測技術の革新につながると考えている。実際に配置するナノ微粒子を換えることで、電気伝導特性の違いも捕らえることに成功している。(右図)本手法は、応用できる範囲も広いと考えている。捕獲、配置できる材料は、絶縁体から、導電対まで可能であり、試料の選択制がない。(下図)本測定手法を更に向上させて、ナノ材料の計測手法のスタンダードの一つになればとも考えている。カーボンナノチューブ:1991年にNEC筑波研究所の飯島澄男主席研究員(当時)により発見された超微細材料。グラファイト(炭素の2次元構造)が直径数nmに丸まった微細チューブ状構造をしていて、層の数、太さ、丸まり方などにより、電気的、機械的、化学的性質が変り、半導体になったり、金属的になったりし、様々な応用開発が進められている。237ナノテクノロジー・材料・製造

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