技術宝箱

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技術紹介37. 導電性で切削可能な振動を吸収する耐熱性セラミックス2. 本技術の背景と応用チタンシリコンカーバイドの導電性は金属導電性(自由電子による導電)である。これまで導電性のマシナブルセラミックスがなかったので、ガラス状カーボンに代わる半導体製造用治具材料への利用が考えられる。また、高剛性でナイロンなみの制振能を示す材料として、振動する高温の重量物の防振台などへの適用も期待でき、このような機能を活かした実用化への協力を求めている。225ナノテクノロジー・材料・製造

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