技術宝箱

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特 許32. ナノメートル透明薄膜の膜厚と屈折率を同時に決める請求項1 基板両面に同一の厚さで付着されているラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散を同時に決定する方法であり、入射角と偏光状態と入射面の向きを変えて基板の透過スペクトルを測定して測定データを得る第1のステップと、入射角と偏光状態と入射面の向きを変えて上記基板の反射スペクトルを測定して測定データを得る第2のステップと、前記第1のステップと同じ条件で上記基板に薄膜を付着させた試料の透過スペクトルを測定して測定データを得る第3のステップと、前記第2のステップと同じ条件で上記試料の反射スペクトルを測定して測定データを得る第4のステップと、上記の各ステップで得られた測定データに最小二乗法による演算処理を実行して膜厚と電磁波が可視光となる周波数領域である光学的周波数領域における異方的な誘電率の値及びその分散を共に決定する第5のステップとからなることを特徴とする膜厚と誘電率分散の同時決定方法。請求項2基板両面に同一の厚さで付着されているラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散を同時に決定する装置であり、入射角と偏光状態と入射面の向きを変えて基板の透過スペクトルを測定して測定データを得る第1測定手段と、入射角と偏光状態と入射面の向きを変えて上記基板の反射スペクトルを測定して測定データを得る第2測定手段と、前記第1測定手段による測定と同じ条件で上記基板に薄膜を付着させた試料の透過スペクトルを測定して測定データを得る第3測定手段と、前記第2測定手段による測定と同じ条件で上記試料の反射スペクトルを測定して測定データを得る第4測定手段と、上記の各測定手段により得られた測定データに最小二乗法による演算処理を実行して膜厚と電磁波が可視光となる周波数領域である光学的周波数領域における異方的な誘電率の値及びその分散を共に決定するデータ処理手段とを備えることを特徴とする膜厚と誘電率分散の同時決定装置197ナノテクノロジー・材料・製造

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