技術宝箱

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特 許32. ナノメートル透明薄膜の膜厚と屈折率を同時に決める1. 特許第4635252号 登録平成23年2月23日(出願平成17年2月2日)・権利者 独立行政法人産業技術総合研究所・発明の名称 ラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散の同時決定方法および装置・要約 入射面および入射角と偏光状態を変えて基板の透過スペクトルを測定して測定データを得る第1のステップと、入射面および入射角と偏光状態を変えて基板の反射スペクトルを測定して測定データを得る第2のステップと、第1のステップと同じ条件で基板に薄膜を付着させた試料の透過スペクトルを測定して測定データを得る第3のステップと、第1のステップと同じ条件で試料の反射スペクトルを測定して測定データを得る第4のステップと、各ステップで得られた測定データに最小二乗法による演算処理を実行して膜厚と光学的周波数領域における異方的な誘電率の値及びその分散誘電率を共に決定する第5のステップとからなる。 ◆背景 ラングミュア・ブロジェット(LB)膜のような有機薄膜の構造と物性は、それが堆積される基板の性状に大きく影響されうる。したがって、透明基板上に堆積された膜の光学的性質も、不透明基板上や金属基板上のそれとは別個に決定されなければならない。エリプソメトリーは、原理的にはそのような目的にも使用できる。しかし、基板内部での多重反射が影響して反射光の光学的位相を乱すので、測定精度の低下が懸念される。通常の反射型エリプソメトリーに加えて透過型エリプソメトリーによる測定も行えばその問題も解決されうるが、複雑な光学系を必要とするようになる。 ◆発明が解決しようとする課題 透明基板上に堆積させた透明膜や吸収膜の誘電率テンソルと膜厚を同時に決定できるように改良したラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散の同時決定方法を提供する。 ◆課題を解決するための手段 入射面および入射角と偏光状態を変えて基板の透過スペクトルを測定して測定データを得る第1の測定手段と、入射面および入射角と偏光状態を変えて基板の反射スペクトルを測定して測定データを得る第2の測定手段と、第1の測定手段による測定と同じ条件で基板に薄膜を付着させた試料の透過スペクトルを測定して測定データを得る第3の測定手段と、第2の測定手段による測定と同じ条件で試料の反射スペクトルを測定して測定データを得る第4の測定手段と、各測定手段により得られた測定データに最小二乗法による演算処理を実行して膜厚と光学的周波数領域における異方的な誘電率の値及びその分散を共に決定するデータ処理手段とを備える。196中小企業のための技術宝箱特許情報

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