技術宝箱

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概 要3 製品化に必要な課題 ①目標とする市場技術分野・薄膜計測・エリプソメータが使用されている計測分野 ②事業化に必要な技術・操作者が使いやすく、角度再現性の高い測定用治具の作製・操作者が使いやすいアプリケーションソフトの作成 ③事業化に必要な検証・より多くの試料(特に膜中に特定の配向状態にある色素を含む試料)での実証4 研究成果の特長 ①ポイント・通常の分光光度計に測定用治具とデータ処理ソフトで、測定ができる。 (裸の基板と薄膜を堆積した基板を様々な条件で透過率と反射率とを測定し、その結果で膜厚と波長依存性のある屈折率及び吸光度とを同時に決定)・基板裏面での反射も考慮すると透明基板に対応できる。 (薄膜の物性は基板に大きく影響され、半導体基板や金属基板上で評価しても、透明基板上の薄膜にはその結果が適用できない可能性がある。本発明の価値はここにある。)・基本的に膜の光学モデルを必要としない。 (もちろん膜の光学モデルと組み合わせると、より有用性の高い情報を得られる) ②目的及び効果・通常の分光光度計に測定用治具とデータ処理ソフトを付加することで、様々な薄膜について、膜厚と波長依存性のある屈折率及び吸光度とを同時に決定できる。・膜の面内方向と法線方向とで屈折率及び吸光度が異なる場合にも対応できる。・膜の光学的性質の評価に留まらず、そこから膜内部における分子配向などを評価できる。5 特許関連情報 ①権利化済特許1.特許4635252 ラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散の同時決定方法および装置 ②出願中特許 ③試作品・試料提供:無 許諾実績:無 実施許諾:可6 研究者情報所 属:ナノシステム研究部門(つくば中央)氏 名:池上 敬一 / Keiichi IKEGAMI連絡先:E-mail: k.ikegami@aist.go.jp32. ナノメートル透明薄膜の膜厚と屈折率を同時に決める193ナノテクノロジー・材料・製造

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