技術宝箱

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特 許27. 大面積で均一な処理ができるマイクロ波プラズマ装置力を供給するために配設された導波管と、前記導波管の管軸方向に沿って配設された複数個のマイクロ波結合孔と、前記導波管の管軸方向に沿って、かつマイクロ波結合孔の下方に配設された1枚板からなるマイクロ波が透過可能な誘電体部材と、前記誘電体部材を冷却するための冷却手段と、を具備することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。請求項2マイクロ波電力を供給して処理室にプラズマを発生させるプラズマ処理装置にあって、マイクロ波電力を供給するため所定間隔で平行に配設された複数の導波管と、前記導波管の管軸方向に沿って設設された複数個のマイクロ波結合孔と、前記導波管の管軸方向に沿って、かつ複数のマイクロ波結合孔の下方に配設された導波管のマイクロ波導入幅にほぼ等しい幅を有する1枚板からなるマイクロ波が透過可能な誘電体部材と、前記誘電体部材を冷却するための冷却手段と、を具備することを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 請求項3前記複数のマイクロ波結合孔の各々は、環状形状をしていることを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。 請求項4前記複数のマイクロ波結合孔は、各々の面積及び/又は各々の配設間隔が、前記誘電体部材近傍におけるプラズマ密度の空間分布を制御して前記誘電体部材の導波管の軸方向における温度勾配を緩和して処理装置内のプラズマ密度の一様性を高めるようにするように調整されていることを特徴とする請求項3に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。 請求項5前記複数のマイクロ波結合孔は、前記導波管内に形成されたマイクロ波の定在波の半波長の間隔で配設されていることを特徴とする請求項3又は4に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。 請求項6前記冷却手段は、前記複数個のマイクロ波結合孔と前記誘電体部材との間に隙間を形成して該隙間に冷却ガスを流すものであることを特徴とする請求項1又は2記載のマイクロ波プラズマ処理装置。 請求項7前記誘電体部材の周りに隙間を設け、その隙間に金属メッシュを設けることを特徴とする請求項1又は2記載のマイクロ波プラズマ処理装置。 167ナノテクノロジー・材料・製造

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