技術宝箱

166/333

技術紹介27. 大面積で均一な処理ができるマイクロ波プラズマ装置1. 特長誘電体窓を通って放電容器に導入されたマイクロ波が誘電体窓の境界面に形成させる表面波により維持される表面波プラズマはナノ結晶ダイヤモンド薄膜などのナノカーボン材料の合成に最適なCVD特性(高ラジカル密度、低電子温度など)を提供する。大量、かつ高速プロセスの技術を可能にするために、プラズマの大電力運転、かつ大規模化が求められている。それを実現するために新しい形状のマイクロ波スロットアンテナを開発した。本発明のスロットアンテナは、従来のマイクロ波スロットアンテナに比べ、マイクロ波電界を空間的に全方向に向けて一様に放射させることができる。その結果、従来、大電力運転において誘電体窓の熱破壊の原因であった諸問題、すなわち、局所的な異常放電、誘電体窓の過熱、誘電体窓の大きい温度勾配などの問題の発生が著しく緩和でき、より大電力運転で可能なマイクロ波プラズマ装置の提供が可能となる。さらに、マルチスロットアンテナ技術はプラズマ領域の大規模化が可能であり、密度の高い均一性と高密度、かつ大面積のプラズマ処理装置の提供が可能となる。2. 本技術の背景ナノ結晶ダイヤモンド薄膜はナノレベルの粒径から起因する優れた物性により、次世代の新ナノ炭素材料として注目を浴びている。その優れた機械的、化学的及び光学的特性により様々な産業分野で応用が検討されている。概要ナノ結晶ダイヤモンド薄膜は優れた機械的、化学的及び光学的特性により様々な産業分野で応用が検討されている。産総研では、ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の実用化を実現するため、マイクロ波プラズマを用いた大量、かつ低温合成方法を研究開発してきた。今回、開発した技術により、ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の合成装置の大規模化、かつ低温合成することができるようになった。164中小企業のための技術宝箱

※このページを正しく表示するにはFlashPlayer9以上が必要です