技術宝箱

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概 要27. 大面積で均一な処理ができるマイクロ波プラズマ装置3 製品化に必要な課題 ①目標とする市場技術分野・プラズマ処理装置の製造メーカ・プラズマ処理技術・ナノ結晶ダイヤモンド薄膜、カーボンナノウォール、グラフェンなどのカーボンナノ材料生産 ②事業化に必要な技術・真空技術・マイクロ波技術・プラズマCVD技術 ③事業化に必要な検証・安定性の検証・コスト検証4 研究成果の特長 ①ポイント・マイクロ波マルチスロットアンテナの大規模化が可能で、メートル級サイズの大面積プラズマ処理装置の製造もできる。・大面積・均一・超平坦ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の低温合成するのが可能。・ガラス、シリコン、鉄、チタン、銅、プスチックなどの表面にナノ結晶ダイヤモンドを低温コーティングすることもできる。 ②目的及び効果・大面積、高密度、かつ均一なプロセスプラズマの提供。・ナノ結晶ダイヤモンド薄膜などのカーボンナノ材料の低温合成。・ナノ結晶ダイヤモンド薄膜などのカーボンナノ材料の量産化。5 特許関連情報 ①権利化済特許特許第4793662号「マイクロ波プラズマ処理装置」 ②出願中特許 ③試作品・試料提供:有 許諾実績:有 実施許諾:可6 研究者情報所 属:ナノチューブ応用研究センターナノ物質コーティングチーム(つくば中央)氏 名:金 載浩 / Jaeho KIM連絡先:E-mail: jaeho.kim@aist.go.jp27. 大面積で均一な処理ができるマイクロ波プラズマ装置163ナノテクノロジー・材料・製造

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