技術宝箱

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特 許25. 光導波モードセンサーで微量物質を測る ◆発明が解決しようとする課題(上記1.と同じ) ◆課題を解決するための手段表面に、反射膜層まで貫通しない細孔を持つ光導波路や、表面に不規則な凹凸を持つ光導波路における、光導波モードを利用する。請求項1透明な誘電体材料又は透明な伝導体材料の基板とその上に被覆した反射膜と、さらに該反射膜の上に誘電体材料又は半導体材料によって形成された光導波路層とからなるチップを用い、前記光導波路層に、当該光導波路層を貫通しない細孔或いは微細且つ不規則な凹凸を複数形成し、該チップの前記基板側から、前記反射膜に光を入射する光入射機構と、前記反射膜によって反射される前記光の反射光を検出する光検出機構とを備え、入射光の一部又は全部が前記光導波路層内を伝搬する光導波モードと結合することによって反射光強度が変化する光入射角度領域を用いて、前記光導波路層の表面に検出対象となる検体が吸着又は付着した際に生じる入射角度或いは反射光強度の変化を読み取ることにより検体の検出を行うことを特徴する光導波モードセンサー。・以下、請求項2から請求項19まで省略。3. 特開2008-46093 公開平成20年2月28日(出願平成18年8月21日)・出願人 独立行政法人産業技術総合研究所・発明の名称 細孔付き光導波モードセンサー・要約 透明基板とその上に被覆した反射膜と、さらに該反射膜の上に形成された光導波路層とからなるチップを用い、前記光導波路層に細孔を複数形成する。さらに、チップのガラス側から反射膜に光を入射する機構と、反射膜によって反射される光を検出する光検出機構とを備える。 ◆背景(上記1.と同じ) ◆発明が解決しようとする課題(上記1.と同じ) ◆課題を解決するための手段シリコン酸化物を主たる材料として構成された光導波路、酸化チタンを主として構成された光導波路、又は、有機物やガラス材料、高分子化合物、透明な伝導体材料によって構成された光導波路で、かつ厚さが60 nm~1 μmと微細加工に最適な厚さの光導波路を用い、これらの光導波路に細孔を形成する。請求項1透明な誘電体材料又は透明な伝導体材料の基板とその上に被覆した反射膜と、さらに該反射膜の上に形成された光導波路層とからなるチップを用い、前記光導波路層に、当該光導波路層を貫通する細孔を複数形成し、該チップの前記基板側から、前記反射膜に光を入射する光入射機構と、前記反射膜によって反射される前記光の反射光を検出する光検出機構とを備え、入射光の一部又は全部が前記光導波路層内を伝搬する光導波モードと結合することによって反射光強度が変化する光入射角度領域を用いて、前記光導波路層の表面に検出対象となる検体が吸着又は付着した際に生じる入射角度或いは反射光強度の変化を読み取ることにより検体の検出を行うことを特徴する光導波モードセンサー。・以下、請求項2から請求項19は省略。155情報通信・エレクトロニクス

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