技術宝箱

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技術紹介25. 光導波モードセンサーで微量物質を測るンサーでは、平板ガラス表面に金や銀の薄膜を付け、その上に、さらにシリカガラス(SiO2)などで形成される導波路層を形成する必要があった。ところが、金や銀は、ガラス材料と非常に密着性が悪く、実際には、各層の間に接着層を入れる必要があり、チップの製造工程が非常に煩雑であった。そこで、我々は、光導波モードセンサーの層構造を見直し、金や銀の代わりとなる材料として、Siが有望であることを見出した。右図は、金や銀の層の部分に他の材料を用いた時の検出感度をシミュレーションした結果を示す。SiやGeなどを用いると、いくらか高い値が期待できることが分かる。実際に、センサーを構築して、感度比較を行ったところ、金や銀を用いた場合、接着層を導入することによって、感度が劣化してしまい、Siを用いた場合でもほぼ同等の感度が得られることが分かった。Siはガラスとの密着性が非常に高く、また、非常に成熟した様々な微細加工技術を用いることができる為、とても容易かつ安価に、製造誤差が少ないチップを量産することができるようになった。また、ナノ加工を適用することで感度でもSPRセンサーを凌駕し、高感度・高安定・低価格なセンサーを実現することができた。153情報通信・エレクトロニクス

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