技術宝箱

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概 要25. 光導波モードセンサーで微量物質を測る3 製品化に必要な課題 ①目標とする市場技術分野・高感度センシング、検出技術分野。 例えば、健康診断、環境測定、有害物質検出、テロ対策、などの分野。・工業用材料の品質管理、常時監視。製造プロセスの常時監視。 ②事業化に必要な技術・光学系を構築できる技術。但し、光源、レンズ、プリズムなどの簡単な光学系の構築程度で良い。・膜堆積技術。例えば、スパッタリング技術。・ガラス加工技術。・モジュール化、ユニット化の技術があればさらに良い。 ③事業化に必要な検証・測定対象物質ごとの、定量測定時の検量線4 研究成果の特長 ①ポイント・従来、金や銀で構築されていた部分を、Si(シリコン)に置き換えた。 ②目的及び効果・高安定性(物理的・化学的の両面で)・製造プロセスが簡易になる。・感度は、金や銀を用いた時と同程度を確保できる。5 特許関連情報 ①権利化済特許1.特許第4581135号 光導波モードセンサー用のチップ2.特許第4595072号 光導波モードセンサー ②出願中特許3.特開2008-046093 細孔付き光導波モードセンサー ③試作品・試料提供:有 許諾実績:有 実施許諾:可6 研究者情報所 属:電子光技術研究部門(つくば中央)氏 名:藤巻 真 / Makoto FUJIMAKI連絡先:E-mail: m-fujimaki@aist.go.jp25. 光導波モードセンサーで微量物質を測る151情報通信・エレクトロニクス

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