技術宝箱

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特 許24. ガラスなどの透明材料の大面積・深溝レーザー微細加工3. 特許第4231924号 登録平成20年12月19日(出願平成16年1月16日)・権利者 独立行政法人産業技術総合研究所・発明の名称 透明材料の微細加工装置・要約 透明材料の裏面にレーザー波長に対して高い吸収率を有する流動性物質を接触させ、正面からレーザー光を照射して透明材料の裏面に微細加工を施す透明材料の微細加工装置であって透明材料の裏面位置を直接規制する基準プレートを備える。 ◆背景簡便、高品位、高効率で、石英ガラス、サファイアなどからフッ化物結晶までの広範な透明材料の表面に三次元微細形状を加工して光学素子を作製する方法が望まれている。 ◆発明が解決しようとする課題流動性物質の入ったセルで覆われた透明基板の裏面を再現性よくレーザー光の集光位置に保持することのできる透明材料の微細加工装置を提供する。 ◆課題を解決するための手段透明材料の裏面位置を直接規制する基準プレートと、透明材料の表面側にOリング保持用凹部を備えた第1ホルダープレートと、基準プレートと第1ホルダープレート間に0リングを介して透明材料を等トルクで押圧作動して挟持する複数の固定具と、流動性物質を収容し開口部を備えたセルと、第1ホルダープレートの押圧作動とは独立して押圧作動しセル内を密封する第2ホルダープレートと、第1ホルダープレートと第2ホルダープレートを固定しXYZステージ上に複数の基準ピンを用いて固定するホルダーとを備える。請求項1透明材料(11)の裏面にレーザー波長に対して高い吸収率を有する流動性物質(12)を接触させ、正面からレーザー光(L)を照射して透明材料(11)の裏面に微細加工を施す透明材料の微細加工装置(10)であって、前記透明材料(11)の裏面位置を直接規制する基準プレート(13)と、前記透明材料(11)の表面側にOリング保持用凹部(21a)を備えた第1ホルダープレート(21)と、前記第1ホルダープレート(21)のOリング保持用凹部(21a)に嵌入する、裏面位置ブレ防止ならびに微小変形防止用のOリング(17)と、前記基準プレート(13)と前記第1ホルダープレート(21)間にOリング(17)を介して前記透明材料(11)を等トルクで押圧作動して挟持する複数の固定具(15)と、前記流動性物質(12)を収容し片面側に開口部(14a)を備えたセル(14)と、前記セル(14)の開口部(14a)を流動性物質漏洩防止用のOリング(22)を介して前記透明材料(11)の裏面に対し、前記第1ホルダープレート(21)の前記押圧作動とは独立して押圧作動しセル(14)内を密封する第2ホルダープレート(19)と、前記第1ホルダープレート(21)と第2ホルダープレート(19)を固定し、XYZステージ上に複数の基準ピンを用いて固定するホルダー(16)とを備え、前記第2ホルダープレート(19)により前記セル(14)の開口部をOリング(22)を介して前記透明材料(11)の裏面に対して押圧固定した状態で、前記固定具(15)により前記基準プレート(13)と前記Oリング(17)を保持した第1ホルダープレート(21)との間に、前記透明材料(11)を垂直挟持可能としたことを特徴とする透明材料の微細加工装置。149情報通信・エレクトロニクス

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