技術宝箱

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① レーザー誘起背面湿式加工法(LIBWE法;Laser-induced backside wet etching従来のレーザー加工は基材を直接励起したが、LIBWE法は色素溶液による間接励起を起点とする。硬脆性材料の表面微細加工法として有力手法。② 光と物質の相互作用を利用したレーザー光反応制御によるレーザー精密プロセスを研究し、石英ガラス等透明光学材料の高品位微細加工手法を新たに見出すことに成功した。1. 本技術の原理と構成2. 応用アスペクト比60の溝を加工することも可能LIBWE法による加工機構概念図241 紹介する技術とポイントレーザー誘起背面湿式加工法による自由自在なレーザー微細加工の実現1ミクロンスケール以下の高精度微細加工他手法では達成困難な高アスペクト比加工(~100)直描型の微細加工技術として応用2 技術説明ガラスなどの透明材料の大面積・深溝レーザー微細加工144中小企業のための技術宝箱

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