2012年研究カタログ
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世界最先端MEMS施設を用いた研究支援サービス-MNOIC : MicroNano Open Innovation Center -研究のポイント ●世界最先端・大口径(8、12インチ)のMEMS研究施設を利用します ●研究支援サービスにて、最先端研究設備を産業界で活用可能です ●オープンイノベーションによる早期の実用化・産業化が可能です世界最先端・大口径研究設備の利用支援を行います。研究支援の主な項目:● ナノインプリント等の大口径の金型試作(マスクレス露光装置を含む)● TSV(Through Silicon Via) に代表される大口径、高精細シリコン3次元微細加工(世界でも有数の加工設備)● 12インチまでの低温・低歪のウェハー・チップ、8インチのウェハーボンディング(ステルスダイシングも含む) ■ 研究担当:三原孝士 ■ 集積マイクロシステム研究センター、一般財団法人マイクロマシンセンター マイクロナノ・オープンイノベーションセンター 研究のねらい● 大型研究施設を用いたオープンイノベーションによる産業化促進は、世界の常識です。● 日本では当該施設が少なく、専門企業やベンチャーでの産業化機会が少ない状況でした。● このような大型施設の利用によって、大きなビジネスチャンスが生まれます。研究支援サービスの内容463特別展示第6会場X-08EX-08E

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