2012年研究カタログ
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■ 研究担当:安本正人 ■ 計測フロンティア研究部門 光・量子イメージング技術研究グループ■ 連携担当:齋藤直昭 X線集光素子を用いたX線顕微鏡開発研究のポイント研究のねらい研究内容 ●ミクロンレベルの空間分解能を持った小型X線顕微鏡の開発 ●高エネルギーX線に対応した光学素子の開発、応用 ●見えないものを見る新しいイメージング手法の開発 X線顕微鏡は、サンプルを大気中で非破壊の状態で、微小領域の観察や分析ができる、光学顕微鏡や電子顕微鏡とは違った特長を持った装置です。今まで、産総研では放射光X線を光源としたX線顕微鏡の開発を行ってきました。その中で開発したX線光学素子やイメージング手法をその他のX線源と組み合わせて、小型で高分解能なX線顕微鏡の開発に取り組んでいます。このような小型X線顕微鏡は、微量物質の分析や観察、難可視化物質の観察などに応用することによって、製品の品質管理、先端医療など様々な分野での利用が可能です。X線実験テストベンチ(外観)X線実験テストベンチ(内部)●現在産総研においては、X線顕微鏡に必要な要素技術である「イメージング技術」、「光学素子」、「顕微鏡システム」の研究開発を行っています。●これら要素技術開発のために、各種のX線管球やステージ、X線検出器を備えたテストベンチの開発を行いました。このテストベンチでは、民間企業や外部研究機関と共同したX線イメージング研究も行っています。●X線光学素子においては、独自に開発したフレネルゾーンプレートの高分解能化や高効率化にも取り組んでいます。連携可能な技術・知財●X線集光技術、分析技術●X線イメージング技術●X線光学素子開発技術●微小領域での元素分析、マッピング技術●特許 第4224594号 (出願2000/12/26)「フレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法」● 研究拠点つくば中央406計測・計量標準分野第4会場S-51S-51

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