2012年研究カタログ
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■ 研究担当:上杉文彦/笠嶋悠司/本村大成/秋山守人/田原竜夫 ■ 生産計測技術研究センター プラズマ計測チーム/プロセス計測チーム ■ 連携担当:菅原孝一 異常放電検出機能付き静電吸着型ウエハステージ研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●各種プラズマ処理装置で発生する異常放電の検出が可能 ●異常放電時に発生する超音波を検出するためのセンサを内蔵 ●薄膜圧電体を用いた独自開発の薄型センサ 半導体デバイスの製造に使用するドライエッチングやプラズマCVDなどのプラズマ処理装置で起こる異常放電は、ウエハに不良要因を残したり装置部品を壊したりするため、デバイス製造ラインでの生産性低下の要因の一つと考えられます。異常放電の発生箇所では同時に超音波も放出されるため、ウエハを吸着しておくためのウエハステージに超音波振動検出用のセンサ(AEセンサ)を内蔵しておけば、超音波の検出をもってウエハ周囲での異常放電を検知できることになります。 装置構成上の制約から汎用のセンサを利用することが困難なため、薄膜圧電体を利用した独自の薄型AEセンサを開発しました(写真)。この薄型センサを内蔵したウエハステージを、量産用ドライエッチング装置に合わせて設計・製作し、ウエハ近傍での異常放電を検出できるか調べました。右下図は、検出した異常信号の例ですが、わずか2/1000秒の間に、10回ほどの異常放電が発生していることがわかります。現在、ウエハステージを交換すれば既設装置へも異常放電検出機能を付与できるように開発を進めているところです。●薄型センサの製作技術●プラズマ処理装置の総合設備効率向上用センサ技術●薄型センサを利用した産業機器等の異常検出●特許出願情報2010-049764 (2010/03/05)「圧電センサ」謝辞:本研究は(株)クリエイティブテクノロジー、崇城大学との共同研究によるものです。ステージに内蔵している薄型AEセンサ検出された異常放電シグナル● 研究拠点九州センター397計測・計量標準分野第1会場S-42S-42

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