2012年研究カタログ
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■ 研究担当:笠嶋悠司/鍋岡奈津子/福田修/本村大成/上杉文彦 ■ 生産計測技術研究センター プラズマ計測チ-ム■ 連携担当:菅原孝一 導電性プラズマ耐性セラミックス材料研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●プラズマエッチング装置用導電性高プラズマ耐性セラミックス材料 ●導電化による半導体製造装置の性能向上・歩留まり向上 ●量産用実機を用いた実環境下での材料評価による開発期間の短縮 プラズマエッチング装置内で発生するパーティクルや異常放電は、量産安定性を阻害し、デバイスの品質や歩留まりの低下を引き起こすなど、半導体製造工程において解決すべき深刻な課題です。パーティクルの主な発生要因として装置内部材の化学的腐食、また異常放電の主な発生要因としては装置内部材の帯電が挙げられます。 本研究で開発した材料は、プラズマエッチング工程で一般的に用いられるハロゲン系ガスのプラズマに対して耐性が高く、かつ導電性を有するため、パーティクル及び異常放電の発生を抑制可能な新規セラミックス材料です。 本新規材料の開発では、実際の半導体製造工程と同じ量産条件を再現可能なプラズマエッチング装置を用いて、材料のプラズマ耐性(損耗量や面粗さ等)を評価しています。実機環境下で開発材料の評価を実施することで、既存の材料に対する優位性を調べるとともに、信頼性及び実用性の高いプラズマ耐性評価のデータ蓄積を図り、実用化までのスピードアップを実現しています。 開発した導電性高プラズマ耐性セラミックス材料はシャワープレート、外周リング、静電チャック等の様々なプラズマエッチング装置用部材に用いる事が可能です。● プラズマエッチング装置用部材及びチャンバー内壁材料のプラズマ耐性評価謝辞:本研究の一部は、経済産業省の平成22年度補正予算「地域イノベーション創出研究開発事業」により行われたものです。開発材料のプラズマ耐性評価導電性プラズマ耐性セラミックス材料(サンプル)プラズマ照射プラズマ照射部照射部マスク部マスク部開発材料評価用サンプル損耗量を測定測定器触針50 mm● 研究拠点九州センター396計測・計量標準分野第1会場S-41S-41

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