2012年研究カタログ
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■ 研究担当:上杉文彦/笠嶋悠司/本村大成/福田修/鍋岡奈津子 ■ 生産計測技術研究センター プラズマ計測チ-ム■ 連携担当:菅原孝一 オープンイノベーションスペースでの半導体生産ラインの課題解決研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●量産条件を再現可能なプラズマエッチング装置による研究 ●デバイス、装置、素材・周辺機器メーカとのコンソーシアム形成 ●異業種にまたがる技術開発と実用的ソリューションの提供 プラズマプロセスはLSI、FPD等の生産ラインで多用されており、車載マイコンに代表されるように、品質の高さが求められています。しかしながら、プラズマエッチング装置で発生するパーティクルや異常放電が量産安定性を阻害し、製造品質を低下させています。当チームでは、オープンイノベーションスペースに設置した量産用プラズマエッチング装置を用いてこのような課題を再現させ、現象の基礎的な解明を行うと共に、材料メーカ、装置部品メーカ、装置メーカ等と共同で実用的なソリューション提供を目指した研究をしています。 プラズマエッチング装置はメタルエッチング、絶縁膜エッチング共に対応可能なチャンバーから構成されており、様々な量産条件を再現することが可能です。この装置にはパーティクルや異常放電の「その場」計測システムを備えており、生産ラインと同等のエッチング条件で、これらの異常を計測することができます。エッチング装置用の新規材料やウエハステージなどの装置構成部品がパーティクルや異常放電を抑制する効果を、「その場」計測システムを用いて検証し、有効なソリューションを提供するための実用化研究を進めています。●エッチングチャンバー内壁用新材料のプラズマ耐性評価●エッチング装置構成部品の実用性評価●プラズマインピーダンスの計測技術●プラズマの「その場」計測に関する技術謝辞:本研究の一部は、経済産業省の「平成22年度補正予算地域イノベーション創出研究開発事業」により行われたものです。オープンイノベーションスペースの意義パーティクルおよび異常放電の計測システム● 研究拠点九州センター利 益利 益利 益素材・周辺機器メーカ装置メーカ海外デバイスメーカ国内デバイスメーカ市場・システムメーカ・車メーカ大学、公設試産総研実環境下でのニーズ実証とソリューションの実用化研究 ・異常放電の計測と抑止技術 ・パーティクルフリー技術 ・プラズマ耐性材料の開発と評価 ・電源技術量産条件を再現できるプラズマエッチング装置オープンイノベーションスペース異常放電計測システム窓型プローブAEセンサ異常放電YVO4レーザ 532nm 10kHz 3Wレーザシート光タイミング制御器パーティクル計測システム取得画像ウエハ散乱光CCDカメラパーティクルプロセスチャンバ装置ステータス信号プロセス制御装置制御用PC395計測・計量標準分野第1会場S-40S-40

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