2012年研究カタログ
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■ 研究担当:菊永和也/山下博史/藤井義貴/野中一洋 ■ 生産計測技術研究センター 光計測ソリューションチーム■ 連携担当:菅原孝一 音波を用いた静電気計測技術研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●音波を用いて、近接させずに位置精度が高い静電気モニタリングが可能 ●装置構成が簡易なので、さまざまな環境に柔軟に対応可能 ●空間的制約の多い生産現場での応用に期待 生産現場では静電気がいたるところで不規則に発生するため、さまざまなトラブルが起こり、生産性低下の原因となっています。これまで静電気計測器として現場で使用されてきた表面電位計は、センサーを測定対象物に近づける必要があるなどの問題がありました。そこで、静電気障害を効率的かつ確実に軽減するために、生産現場の環境に合わせて静電気を計測できる技術が求められています。 本研究では、生産現場で柔軟に対応可能な静電気計測技術を開発し、その技術を発展させて生産プロセスにフィードバック可能なオンサイト計測技術の開発に取り組んでいます。 本研究では、これまでと違った原理を用いた新しい静電気計測技術を開発しています。この技術は帯電している物体を音波によって振動させることで電磁界を誘起し、その変化をアンテナで検出することで静電気を測ることができます。この技術はセンサーを対象物に近接させることなく静電気を計測することができるため、様々な製品が高速で動いている生産現場に適しています。また、収束音波を走査させることで静電気の二次元分布を計測することができます。現在は、静電気を短時間で可視化するために、電界受信センサーの開発を行っています。●フィルム、繊維、半導体素子などの静電気の評価●低周波電界の計測技術●静電気可視化技術の装置化● 特願2011-025542「静電気帯電計測方法及び装置」●特願2011-136195「静電気量計測装置」謝辞:本研究の一部は新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の先導的産業技術創出事業(11B09009d)と、科研費(23760377)の助成を受けたものです。開発した静電気の計測原理装置構成と静電気可視化の具体例ロックインアンプオシロスコープ電界受信装置収束音波発生装置ポリイミドフィルム剥離静電気分布測定負電位正電位サンプルアンテナ1 cm1 cm● 研究拠点九州センター390計測・計量標準分野第1会場S-35S-35

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