2012年研究カタログ
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■ 研究担当:早稲田篤/倉本直樹/粥川洋平/藤田佳孝 ■ 計測標準研究部門 材料物性科 流体標準研究室■ 連携担当:石川純 超高精度固体密度計測技術研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●任意形状の固体試料密度およびシリコン単結晶の密度差の超高精度測定 ●密度・密度差測定による薄膜の密度・膜厚の決定 ●欠陥評価等の材料評価技術への展開 密度は,多くの分野における材料評価や品質管理等に利用されている重要な物性量です。近年では、様々な材料の密度を国家計量標準にトレーサブルな形で高精度に測定することが求められています。このようなニーズに応えるべく、液中ひょう量法による任意形状の固体試料密度測定システムおよび圧力浮遊法によるシリコン単結晶密度差測定システムをそれぞれ開発しました。密度・密度差の計測技術の高度化とともに、それらを応用した、材料の物性評価技術の開発を行っています。 液中ひょう量法による密度測定システムでは、密度の国家標準であるシリコン単結晶球体を基準に、任意形状の固体試料の密度を精密測定します。0.1 ppmの不確かさで測定可能であり、高精度材料物性評価への応用を検討しています。圧力浮遊法による密度差の測定では、任意形状のシリコン単結晶の密度差の測定が0.1 ppmまで可能です。この密度差測定と質量差測定を行うことにより、基板上の薄膜の密度・膜厚の直接計測が可能となります。今後は密度差測定を利用したシリコン単結晶の微小欠陥の検出等材料評価技術の開発にも取り組んでいく予定です。●固体材料密度の超高精度測定●シリコン単結晶密度差の超高精度測定●薄膜の密度・膜厚の測定● 特許公開2005-164503「薄膜の膜厚及び密度の測定方法並びに測定装置」液中ひょう量法による固体密度測定システム圧力浮遊装置による密度差測定システム電子天びんへ荷重交換機構へカウンターウエイトシリコン単結晶球体(密度の国家基準)固体試料作動流体(トリデカン)● 研究拠点つくば中央369計測・計量標準分野第1会場S-14S-14

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