2012年研究カタログ
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■ 研究担当:尾藤洋一/近藤余範 ■ 計測標準研究部門 長さ計測科 幾何標準研究室■ 連携担当:石川純 高精度平面度校正装置の開発研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●参照面を必要としない絶対形状測定装置の開発 ●高精度(ナノメートルオーダ精度の絶対形状測定) ●広範囲(1 mにわたる形状測定) 表面形状の高精度な測定法としては、干渉計測法が最も一般的ですが、基本的に参照平面との差分測定であるため、測定の絶対精度は参照平面の精度によって制限され、ナノメータレベルの絶対精度を実現することは容易ではありません。そこで、産総研では、参照面を必要としない新たな形状測定装置(平面度校正装置)の開発に取り組んできました。開発した形状測定装置により、ナノメータレベルの絶対形状(平面度校正)測定が可能となるだけでなく、1 mにわたる真直度校正や干渉計測に用いる参照平面の高精度な補正なども可能となります。 物体表面の局所的な傾斜角度測定を利用した形状測定装置を開発しました。物体表面の局所的な角度変化を逐次測定していき、得られた角度変化分布を積分することにより形状分布を得るというシンプルな測定法であり、①参照面を必要としない、②大口径の形状も測定可能といった特徴を有しています。 具体的な装置の構成としては、ペンタミラーを用いてオートコリメータの測定光を直角に曲げ、被検面に照射し、ペンタミラーを機械的に走査することにより、表面形状の局所的な角度分布を測定します。ペンタミラーにより、運動誤差の影響を低減することができます。●ナノメートルオーダの絶対形状評価●大口径(~1 m)の形状測定、真直度測定●数mから数kmオーダのR評価開発した局部傾斜角測定に基づく形状測定装置形状測定の再現性10.80.60.40.20ー0.2ー0.4ー0.6ー0.8ー10306090120150180210240再現性[nm]測定位置[mm]オートコリメータペンタミラー● 研究拠点つくば中央359計測・計量標準分野第1会場S-04S-04

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