2012年研究カタログ
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■ 研究担当:新納弘之/川口喜三/佐藤正健/奈良崎愛子 ■ 環境化学技術研究部門 レーザー化学プロセスグループ■ 連携担当:北本大 レーザー局所場照射による光化学表面微細反応プロセス研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●レーザー局所場照射によるオンデマンド型光化学反応プロセス ●ガラス、金属、セラミックスの微細パターン形成、微細加工 ●光化学表面微細反応による材料の高付加価値化技術 化学/医療・電子情報などの先進産業分野では小型集積化・短納期化に加え、省エネルギー・環境負荷低減が求められています。我々のグループでは、光の特性を最大限に生かす先端的レーザー化学プロセスにより、脱真空・薬液低減を実現し、省エネルギー・環境低負荷化に資する表面微細反応プロセス技術を開発しています。さらに、光の高速任意形状走査を駆使することで、短納期化のニーズに応えるべく、高速で自在な微細表面反応処理を行うオンデマンド型の光化学表面微細反応プロセス技術の開発を目指します。 レーザー局所場照射により材料表面の微細な領域に光エネルギーを投入して反応を誘起するオンデマンド型の表面光化学反応プロセス技術開発に取り組んでいます。レーザー光をガルバノミラーにより高速任意形状走査することで、大気圧下で任意微細形状の付加的処理、除去的処理を行います。レーザー転写法を利用すると金属やセラミックス材料のサブミクロンからミクロンスケールの微細構造を任意の位置に集積化できます(図中(a))。レーザー局所場照射によるガラスの光化学微細加工についても研究開発を進めています(図中(b))。●レーザー局所場照射による表面微細反応処理●金属・セラミックス材料の微細パターニング●ガラス、セラミックスの表面微細除去加工●表面微細構造の観察● 特許出願情報 特許第3012926号(登録1999/12/17)「透明材料の微細加工法」(米国特許6362453号、独国19912879号など)、特願2007-068442 (2007/03/16)「FeSi2ドットアレイ構造体及びその作製方法」ガルバノミラーによる光化学表面微細反応プロセス(a) レーザー転写によるFeSi2マイクロドットアレイ、(b)LIBWE法によるガラス表面微細加工によるマーキング(b) 100 �m ● 研究拠点つくば中央34環境・エネルギー分野第5会場E-19E-19

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